01 Zlepšení přesnosti leptání
Vysoce výkonný femtosekundový laser může řídit přesnost leptání na řád nm, což je o 1-2 řádů vyšší než u pikosekund; přesnost šířky okraje je řízena v řádu um nebo sub-um;
02 Snížené materiální škody
Špičkový výkon femtosekundového laseru je vysoký a absorpce silná a jeho leptací tepelně ovlivněná zóna a hloubka tání jsou menší ve srovnání s pikosekundovým laserem, takže má menší vliv na leptání podkladové vrstvy a může významně snížit materiální škody nebo dokonce nezpůsobit žádné škody
03 Zabránění poškození podkladového materiálu
Použití UV pikosekundového/femtosekundového laserového leptání průhledných filmových vrstev může zabránit poškození podkladového materiálu;
04 Efektivní plnění procesních požadavků
Prostřednictvím spolupráce různých laserů dokážeme efektivně plnit procesní požadavky BC baterií pro výrobu složitých vzorů různých vrstev filmu.
U bateriového procesu může použití femtosekundových laserů snížit poškození materiálu a zjednodušit proces čištění, čímž se dosáhne snížení nákladů a efektivity. Vysoce výkonné femtosekundové lasery mohou lépe zajistit efektivní hromadnou výrobu XBC buněk při zachování rychlosti zpracování minimálně pikosekund, což vede k účinnosti až 26-27 %.
