1｜Diskuse o oxidu hlinitém a jeho aplikacích Keramika z oxidu hlinitého se díky své izolaci, vysoké-teplotní odolnosti, odolnosti proti opotřebení, odolnosti proti korozi a vysoké chemické stabilitě široce používá v oblastech, jako jsou polovodiče, nová energie a špičková-elektronika. Zejména hliníková keramika se může dobře přizpůsobit extrémním prostředím, jako je vakuum a vysoké teploty, díky čemuž jsou vhodné jako suroviny pro procesní komponenty v polovodičových zařízeních. Mít pouze vynikající materiály zdaleka nestačí; tyto materiály také vyžadují vynikající techniky zpracování ve špičkových{5}}zařízeních nebo procesech, aby plně využily své vlastnosti a dosáhly větších průlomů v přesné výrobě. Například plynové trysky používané v polovodičových zařízeních vyžadují silnou odolnost proti korozi, obecně dosahované keramickými materiály z oxidu hlinitého. Aby tryska mohla dosáhnout optimálního regulačního výkonu, je zapotřebí přesná technologie zpracování mikro-otvorů k vytvoření dobré struktury mikro-otvorů, která umožňuje přesné řízení rychlosti a objemu proudění plynu/kapaliny. Proto se vztah mezi oxidem hlinitým a dobrými technikami zpracování vzájemně posiluje.
2｜Diskuse o zpracování mikropórů oxidu hlinitého Zpracování keramiky bylo vždy výzvou. Za prvé je to tvrdý a křehký materiál; používání tradičních metod mechanického vrtání snadno způsobí mikro-trhliny a odštěpky, takže je obtížné zajistit výnos. Za druhé, je to izolační materiál a není -vodivý, takže vysoce přesné{5}}obrábění elektrickým výbojem nelze použít. Před příchodem femtosekundových laserů bylo dosažení vysoké-přesnosti a-kvalitního zpracování keramických mikropórů oxidu hlinitého obtížným úkolem. To znamená, jak lze hodnotit vysokou přesnost a vysokou kvalitu? Jinými slovy, jak posoudíme, zda jsou ukazatele zpracování mikropórů dobré nebo špatné? Věřím, že existují dva aspekty: velikost mikropórů a morfologie mikropórů.
1. Velikost mikropóru zahrnuje: průměr otvoru a jeho přesnost, kulatost, kuželovitost atd. Tyto tři indikátory odrážejí především trojrozměrnou velikost mikropóru, zatímco přesnost představuje odchylku mezi ideální hodnotou a skutečnou hodnotou dosažitelnou technologií zpracování.
2. Morfologie mikropórů zahrnuje: morfologii povrchu a morfologii bočních stěn. Tyto dva indikátory především zkoumají, zda vstup do otvoru a vnitřní stěna mají přetavenou vrstvu, odštěpky, stříkance, praskliny nebo hladký povrch. Tyto indikátory ovlivňují pronikání světelných paprsků, plynů a kapalin a také ovlivňují spolehlivost a životnost produktu.
3｜Diskuse o zpracování oxidu hlinitého femtosekundovým laserem Femtosekundový laser jako špičková technologie zpracování mikrootvorů- vykazuje významné výhody při zpracování oxidu hlinitého. Díky své ultra-šířce pulsu a extrémně vysokému špičkovému výkonu dokáže ablat jakýkoli pevný materiál, aniž by prošel roztaveným stavem. Ve spojení s mikrometrickým-jemným gravírováním jsou mikrootvory vysoce přesné s vynikající kulatostí. Navíc zpracování femtosekundových laserů za studena zabraňuje tvorbě přetavených vrstev, mikrotrhlin na povrchu nebo vnitřních stěnách oxidu hlinitého a nezpůsobuje žloutnutí nebo černění materiálu. Jinými slovy, bez ohledu na metodu zpracování nebo poměr složení aluminové keramiky mohou femtosekundové lasery dosáhnout ultra-vysoce přesné a vysoce{9}}kvalitní zpracování mikrootvorů. V současné době mohou femtosekundové lasery dosahovat zpracování mikrootvorů s minimálním průměrem 0,02 mm (tloušťka 0,2 mm) a přesností v rozmezí ±1 μm. Víte o nějakých dalších technologiích, kterými lze takového zpracování mikrootvorů dosáhnout?
