Jak všichni víme, na světě je pouze jeden výrobce, který umí vyrobit EUV litografii, je toNizozemský ASML.
Důvodem, proč je na světě pouze jeden výrobce, je to, že ASML spojilo mnoho klíčových výrobců dohromady, jako je Zeiss (Zeiss), německá optická společnost, Cymer (USA) aTRUMPF (Německo).
ASML připoutal tyto výrobce ke svému vozu prostřednictvím investic, akvizic, držení akcií, zřízení výzkumných center atd. a tito výrobci jsou pravděpodobně jediní výrobci na světě, kteří mohou tyto produkty vyrábět, takže nakonec pouze ASML na světě může vyrobit EUV litografii.
Nedávno však klíčový dodavatelský řetězec ASML běžel do čínského Shenzhenu, aby zde postavil továrnu, jejíž dceřiná společnost Shenzhen se usadila v Baoan Sino-German (Evropa) Industrial Demonstration Park.
Tímto výrobcem je německá TRUMPF Group (TRUMPF), je to litografie EUV společnosti ASML, jediný světový dodavatel laserových zdrojů.
Jak důležité jsou produkty TRUMPF v litografii EUV? Nejprve si poslechněte, jak vysvětlím princip EUV litografie, pochopíte.
Princip EUV litografie, zjednodušeně řečeno, se soustředí na tři hlavní systémy, EUV systém zdroje ultrafialového světla, objektivový zrcadlový systém a stolní systém.
Specifickým procesem je použití laseru k vybuzení 13,5nm vlnové délky extrémního ultrafialového světla, které je následně korigováno tak, aby vytvořilo řízený paprsek světla, který je poté promítán na stůl fotomasky, než je promítán přes zrcadlo objektivu na expoziční stůl. a nakonec vyleptán do obvodu na křemíkové destičce potažené fotorezistem.
Jak se získá jeden ze systémů zdroje UV světla EUV bombardováním cínové (Sn) kovové kapky 30 kW výkonným CO2 laserem, odpařením do plazmy a nakonec získáním EUV světla o vlnové délce 13,5 nm.
Tento CO2 laser o výkonu 30 kW dodává společnost TRUMPF, jediná na světě.
Nepodceňujte tento CO2 laser, má 457 329 dílů, délka kabelu v systému je až 7 322 metrů a hmotnost 17 090 kg, což je jedna z nejdůležitějších součástí jádra EUV litografie.
Nyní TRUMPF běžel do Číny postavit továrnu, záměr je jasný, to znamená optimistický, pokud jde o čínský laserový trh, a ještě dlouhodobější výhled optimistický ohledně čínského trhu litografie, budoucnost může spolupracovat s Čínou na budování EUV litografie .
Ve skutečnosti již existuje více než jeden dodavatelský řetězec ASML do Číny, aby postavil továrnu, existuje KMWE a další výrobci, také do Číny, aby postavili továrnu.
Podle současného trendu lze optimisticky očekávat, že to nemusí dlouho trvat a čínská litografická technologie bude velkým krokem kupředu a dokonce i objem výstupní EUV litografie se má také na co těšit, co myslíte?
