Podle vlastností materiálu substrátu, přesnosti povrchu substrátu, drsnosti povrchu a typů znečišťujících částic lze současné metody čištění laserem rozdělit do následujících dvou kategorií.
1) Metoda suchého čištění laserem. Laser přímo ozařuje povrch objektu, kontaminuje částice nebo absorbuje energii na povrchu a poté způsobuje, že částice opouštějí povrch tepelnou difúzí, foto rozkladem a zplyňováním.
2) Metoda mokrého čištění laserem. Nastříkejte nekontaminovanou kapalinu (hlavně vodu, někdy alkohol) na povrch čištěného materiálu a poté jej ozařte laserem. Po absorpci energie laseru bude kapalné médium způsobovat výbušné odpařování a odtlačovat částice znečištění kolem něj od povrchu materiálu. Kromě toho byla navržena takzvaná metoda čištění laserovou směsí. Energie laseru je absorbována materiálem substrátu a poté se adsorbované střední médium zahřívá tepelnou konvekcí a střední médium produkuje výbušné odpařování. Poháněné velkým proudem vzduchu jsou částice odděleny od povrchu substrátu spolu s prostředním médiem.
